Laser CVD에 의한 SiO₂막의 형성과 제특성

김용우 ,  김천섭 ,  김상욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

The Effects of Impurities in Silicon Nitride Substrate on Tribological Behavior between Diamond Film and Silicon Nitride Ball

Dae-Soon Lim ,  Jong-Hoon Kim

Lubricants Symposium

1995 .10

The Effects of Impurities in Silicon Nitride Substrate on Tribological Behavior between Diamond Film and Silicon Nitride Ball

Dae Soon Lim ,  Jong Hoon Kim

Tribology and Lubricants

1995 .12

Effects of the Base Pressure on the Structure and Electrical Properties of Poly Silicon Films

Jae Cheol Pa ,  k ,  Sang Do Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

INFLUENCE OF SURFACE FILM PROPERTIES ACCORDING TO VARYING RADIO FREQUENCY FOR CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELLS

Kyung Dong Lee ,  Soohyun Bae ,  Sungeun Pa 외 4명

AFORE

2012 .11

플라즈마 화학 증착된 질화 규소 미소 구조물의 탄성 계수 측정

김재현 ,  이학주 ,  한승우 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .05

Effect of deposition rates of PECVD silicon nitride films on passivation for silicon solar cells

이준성 ,  임희진 ,  권순우 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2008 .05

DEPOSITION OF WIDE BANDGAP SILICON ALLOY FILMS FOR THIN-FILM SILICON SOLAR CELLS BY CONTROLLING CARBON RATIO

Dongmin LIM ,  Eunseok JANG ,  Joo Hyung PARK 외 3명

AFORE

2015 .11

Hydrogen and Alkali Ion Sensing Properties of Ion Implanted Silicon Nitride Thin Film

박구범

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

결정질 실리콘 태양전지를 위한 실리콘 질화막의 특성

박제준 ,  김진국 ,  송희은 외 3명

한국태양에너지학회 논문집

2013 .04

Study the Properties of Silicon Nitride Films prepared by High Density Plasma Chemical Vapor Deposition

Gangopadhyay ,  Utpal ,  Kim 외 16명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Oxide Films Using Silicon Amide Precursors

Sung-Joo Woo ,  Han-Gyul Lee ,  Luchana L. Yusup 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Laser CVD silicon nitride막의 wear out

김천섭 ,  권봉재 ,  김용우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .11

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

플라즈마 실리콘 질화막의 전기적 특성에 관한 연구

주현성 ,  주승기

한국표면공학회지

1989 .12