2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구 ( A Study on The Reliability of 2-Step Sputtered / Anodized Ta2O2 Dielectric Films )

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

열적 성장된 실리콘 질화막위에 산화 탄탈륨 초박막의 형성 ( Formation of ultra-thin Ta2o5 film on thermal silicon nitrides )

이재성 ,  류창명 ,  강신원 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .11

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성 ( Characteristics of Ta2O5 Films by RF Reactive Sputtering )

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

다층 유전체 박막의 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on Electrical Chatacteristics of Multi-layer Dielectric Film )

안준오 ,  정회환 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

$SnO_2$ 박막의 이용한 $Ta_{2}O_{5}$ 박막 커패시터의 유전특성에 관한 연구

김진석 ,  이문희

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

양극산화 시킴 Al₂O₃ 박막의 유전특성

신동수 ,  송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

다층 유전체 박막의 전기적 특성에 관한 연구

안준오 ,  정희환 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

$Ta_2O_{5}$ 박막의 누설전류 및 유전특성과 박막응력

이재석 ,  양승기 ,  신상모 외 1명

한국재료학회지

1995 .01

염소 플라즈마를 이용한 탄탈륨 미세패턴 식각특성

우상균 ,  김상훈 ,  주섭열 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Sb₂S₃ 박막의 광도전 및 유전특성

윤영훈 ,  최규만 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

다층박막적층법

김병수

고분자 과학과 기술

2013 .10

전자선 가열법으로 형성된 탄탈륨산화막의 유전 특성 ( Dielectric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film deposited by E-Beam Evaporation )

박현수 ,  전춘배 ,  이덕동 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

O₂ RTA 방법으로 제조된 Ta₂O_5-x 박막의 전기적 특성

金寅性 ,  宋在成 ,  尹文洙 외 1명

전기학회논문지 C

2002 .08

$\textrm{Ta}(\textrm{OC}_{2}\textrm{H}_{5})_{5}$와 $\textrm{NH}_3$를 이용한 산화탄탈륨 막의 원자층 증착 및 특성

송현정 ,  심규찬 ,  이춘수 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07