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에칭 프로세스를 위한 SF₆/O₂ 플라즈마 특성에 관한연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
저진공 축전결합형 SF, SF/O, SF/CH 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각
한국재료학회지
2009 .01
A Study on the Anisotropic Etching of Tungsten-Nitride Using SF6 Plasma
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
SF6, C₄F8, O₂ 가스 변화에 따른 실리콘 식각율과 식각 형태 개선
전기전자재료학회논문지
2008 .01
유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
SF6 아크플라즈마 해석을 위한 프로그램 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1999 .11
SF₆/N₂ 혼합기체의 대기압 플라즈마 특성 분석
전기학회논문지 P
2009 .12
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구 ( A Study on Pt Etch by Oxygen Plasma in Reactive Ion Etcher )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구
한국재료학회지
2000 .01
$SF_6/Ar$플라즈마를 사용한 캐패시터 전극용 백금 박막의 식각 특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
결정립크기 및 도우핑조건이 C12-SF6 가스 플라즈마에서의 다결정 실리콘의 식각특성에 미치는 영향 ( Effect of Grain Size and Doping Conditions on the Etch Characteristics of Polysilicon Films in a SF6-C12 Gaseous Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
X-선 마스크 제작을 위한 텅스텐 식각
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
SF₆ 기체중에서의 음이온 이동도 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .11
SF₆/Ar 가스 플라즈마에 의한 SrBi₂Ta₂O₉ 박막의 식각 메커니즘 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
Plasma and Reactive Ion Etching
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2011 .01
자화된 SF₆ 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
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