$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 ICP 식각 특성

한윤봉 ,  박진수 ,  임연호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Etch Stop Characteristics of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Film by Using $CeO_2$ Buffer Layer

권영석 ,  심선일 ,  김용태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

새로운 열처리법을 통한 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 저온 성장

이관 ,  최훈상 ,  허재성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

비휘발성 메모리용 SrBi2Ta2O9 강유전체 박막의 제조 및 특성연구 ( Preparation and Characterization of SrBi2Ta2O9 Ferroelectric Thin Films for Nonvolatile Memory )

장호정 ,  서광종 ,  장지근

전자공학회논문지-D

1998 .03

ETCH CHARACTERISTICS OF FERROELECTRIC SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$ THIN FILMS IN AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Chung ,  Chee-Won ,  Kim 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

산소 분압 열처리 조건이 $SrBi_2Ta_2O_9/$ 박막의 강유전특성에 미치는 영향

이관 ,  최훈상 ,  이종한 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

PREPARATION AND PROPERTIES OF $SrBi_2Ta_2_9$ FERROELECTRIC THIN FILMS

Lee ,  Chi-Heon ,  Choi 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막과 Pt 하부전극과의 결정학적 방위 관계에 대한 고찰

김현하 ,  권현자 ,  이정수

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 증착된 $SrBi_{2}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 전기적 특성

이상열 ,  서광종 ,  장지근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOD법으로 제조한 $SrBi_{2x}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 열처리 공정에 따른 전기적 특성

연대중 ,  최재식 ,  박주동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

플라즈마를 이용한 유기금속 화학증착법에 의한 강유전체 $SrBi_2Ta_2O_{9}$ 박막의 제조

성낙진 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

강성칠 ,  권광호 ,  이윤찬 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성

이영식 ,  나선웅 ,  이내응 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

Properties of SrBi2Ta2O9 Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method

이상열 ,  장호정 ,  장지근

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

$SF_6/Ar$플라즈마를 사용한 캐패시터 전극용 백금 박막의 식각 특성

주섭열 ,  황재희 ,  김상훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

EFFECT OF MODIFIED HEAT TREATMENTS ON THE SURFACE MORPHOLGY OF SrBi$_2$Ta$_2$O$_9 THIN FILMS

Kim ,  Tae-Young ,  Chung 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

SF₆+Ar의 전자수송계수에 관한 연구

박재세 ,  김상남

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

Preferred Orientation and Crystallography of Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Thin Film

권현자 ,  김현하 ,  이정수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온식각에 관한 실험적 연구 ( Experimental Study of Reactive Ion Etching of Tungsten Films Using SF6 Plasma )

박상규 ,  서성우 ,  이시우

전자공학회논문지-A

1993 .07

Ferroelectric Characteristics of SrBi2Ta2O9 Thin Film on the Various Substrate for Nvfram

Kwang Jun Cho ,  Tae Kwon Song ,  Jeon Kook Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01