결정립 식각 기술을 이용한 다결정 실리콘 부착 방지 구조 ( Polysilicon Anti-sticking Structure by Grain Etching Technique )

이용주 ,  박명규 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .02

에칭 프로세스를 위한 SF₆/O₂ 플라즈마 특성에 관한연구

하장호 ,  전용우 ,  신용철 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

SF6, C₄F8, O₂ 가스 변화에 따른 실리콘 식각율과 식각 형태 개선

권순일 ,  양계준 ,  송우창 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온식각에 관한 실험적 연구 ( Experimental Study of Reactive Ion Etching of Tungsten Films Using SF6 Plasma )

박상규 ,  서성우 ,  이시우

전자공학회논문지-A

1993 .07

저진공 축전결합형 SF, SF/O, SF/CH 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각

박연현 ,  주영우 ,  김재권 외 2명

한국재료학회지

2009 .01

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  송현직 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  최상태 외 5명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1999 .11

SF6 아크플라즈마 해석을 위한 프로그램 개발

이종철 ,  안희섭 ,  최종웅 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구

문호성 ,  김상훈 ,  안진호

한국재료학회지

2000 .01

SF₆/N₂ 혼합기체의 대기압 플라즈마 특성 분석

소순열 ,  이진

전기학회논문지 P

2009 .12

온도변화에 따른 SF₆ 가스의 절연특성

박경태 ,  박광서 ,  이광식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

광 검출기용 다결정 실리콘에서 결정립의 크기에 의존하는 수소 부동태화 특성

이재성

전자공학회논문지

2018 .10

SF₆ 가스의 온도변화에 따른 절연특성

李廣植 ,  朴光緖 ,  朴徑台 외 2명

전기학회논문지 C

2003 .08

불평등전계하의 AC인가시 액체 SF₆의 기포거동과 절연특성

최은혁 ,  박혜리 ,  박숭규 외 3명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2011 .05

SF₆ 가스중의 공진주파수에 따른 신호특성

이용희 ,  이현동 ,  박정남 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

SF₆ 가스차단기에서 아크플라즈마에 의한 비정상 유동특성

이종철 ,  안희섭 ,  오일성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

플라즈마 변수에 의한 불순물주입 다결정실리콘 박막의 식각율 변화 ( Etch Rate Dependence of Differently Doped Poly-Si Films on the Plasma Parameters )

박성호 ,  김윤태 ,  김진섭 외 2명

전자공학회논문지

1988 .11

$SF_6/Ar$플라즈마를 사용한 캐패시터 전극용 백금 박막의 식각 특성

주섭열 ,  황재희 ,  김상훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

SF₆ 가스중 V-t절연파괴특성

서길수 ,  김익수

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07