SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

강성칠 ,  권광호 ,  이윤찬 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

SF₆+Ar의 전자수송계수에 관한 연구

박재세 ,  김상남

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

Roles of SF₆, O₂ and Ar in deep silicon via hole etching

Yeong Dae Lim ,  Seung Hwan Lee ,  Won Jong Yoo 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

시뮬레이션에 의한 SF₆-Ar혼합기체의 확산계수

Sang-Nam Kim

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .10

SF₆/Ar 가스 플라즈마에 의한 SrBi₂Ta₂O₉ 박막의 식각 메커니즘 연구

김동표 ,  서정우 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

시뮬레이션을 이용한 SF₆-Ar의 전리계수

김상남

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온식각에 관한 실험적 연구 ( Experimental Study of Reactive Ion Etching of Tungsten Films Using SF6 Plasma )

박상규 ,  서성우 ,  이시우

전자공학회논문지-A

1993 .07

저진공 축전결합형 SF, SF/O, SF/CH 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각

박연현 ,  주영우 ,  김재권 외 2명

한국재료학회지

2009 .01

SF6, C₄F8, O₂ 가스 변화에 따른 실리콘 식각율과 식각 형태 개선

권순일 ,  양계준 ,  송우창 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

에칭 프로세스를 위한 SF₆/O₂ 플라즈마 특성에 관한연구

하장호 ,  전용우 ,  신용철 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

F₂/Ar과 F₂/Ar/N₂ 리모트 플라즈마 산화막 식각에 대한 NO를 첨가효과

윤영배 ,  김덕진 ,  이내응 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH₂F₂/O₂/Ar Plasma

Jinyoung Son ,  Junmyung Lee ,  Inwoo Chun 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  최상태 외 5명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1999 .11

유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성

김용근 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

고집적 메모리소자의 캐패시터 전극용 백금 박막의 건식 식각 기술

김권식 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

SF₆-Ar混合氣體의 電子 平均에너지

김상남 ,  성낙진

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용

고동찬 ,  김용제

한국지하수토양환경학회 학술발표회

2003 .01

Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled $SF_6,\;SF_6/Ar\;and\;SF_6/CH_4$ plasmas

박연현 ,  주영우 ,  김재권 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

SF₆+Ar 혼합기체의 MCS-BE 알고리즘에 의한 전자에너지 분포함수

김상남 ,  하성철

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구

문호성 ,  김상훈 ,  안진호

한국재료학회지

2000 .01