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ICP ETCHING OF TUNGSTEN FOR X-RAY MASKS
한국표면공학회지
1996 .12
A Research on the Anisotropic Etching of Tungsten-Nitride for X-Ray Mask
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
고종횡비 구조물의 정밀 제작을 위한 DRIE 식각 마스크
대한기계학회 논문집 B권
2018 .07
의료 방사선사용에 따른 납과 텅스텐의 차폐효과 분석
한국방사선학회 논문지
2018 .01
CF4 / O2 가스계에 CO와 CO2 첨가가 텅스텐의 식각 속도 및 선택도에 미치는 영향 ( Effect of CO and CO2 Addition to CF4 / O2 Gas System on the Etch Rate and Selectivity of Tungsten )
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온식각에 관한 실험적 연구 ( Experimental Study of Reactive Ion Etching of Tungsten Films Using SF6 Plasma )
전자공학회논문지-A
1993 .07
유-무기 하이브리드 하드마스크 소재의 합성 및 식각 특성에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2011 .04
텅스텐 염으로부터 텅스텐 나노 분말 합성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .04
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화
전기전자재료학회논문지
2012 .01
실리콘 나노홀 어레이 제작을 위한 식각마스크용 알루미늄 나노패턴
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .04
Estimation of tungsten tip by electrochemical etching
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
고종횡비 구조물의 정밀 제작을 위한 DRIE 식각 마스크
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
전기화학적 에칭에 의한 AFM용 텅스텐 탐침의 강성 제어
Tribology and Lubricants
2014 .08
폴리머와 금속을 이용한 유리 식각 마스크의 제작 및 이를 이용한 유리 가공
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .11
마스크리스 나노 패턴제작을 위한 나느스크래치 된 Si (100) 표면의 식각 마스크 효과에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .05
전기화학에칭법을 이용한 AFM용 텅스텐 탐침 제작에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
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