COMPUTER-AIDED LASER INTERFEROMETER FOR TESTING THE FLATNESS OF SILICON WAFERS

V. V. Kotlyar; P. G. Seraphimovich; V. A. Soifer

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자료유형: 연구보고서

저자정보: V. V. Kotlyar P. G. Seraphimovich V. A. Soifer

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 기타 간행물 HICEC : Harbin International Conference on Electronics and Computers

발행연도: 1992.1

수록면: 670 - 672 (3page)

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