Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

Novel Maskless Bumping for 3D Integration

Kwang-Seong Choi ,  Ki-Jun Sung ,  Byeong-Ok Lim 외 4명

[ETRI] ETRI Journal

2010 .04

Maskless 방식을 이용한 PCB 생산시스템의 진동 해석

장원혁 ,  이재문 ,  조명우 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .11

$SiO_2$막의 습식식각 방법별 균일도 비교

안영기 ,  김현종 ,  성보람찬 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2006 .01

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

레이저 유도 열화학 습식에칭을 이용한 티타늄 미세구조물 제조

신용산 ,  손승우 ,  정성호

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .04

450 ㎜ 실리콘 웨이퍼의 중력 처짐 대한 전산모사

김성일 ,  우태기 ,  김춘근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2010 .11

기판의 왕복 운동을 이용한 인라인 식각세정장치 내 ITO 식각특성

홍성재 ,  권상직 ,  조의식

전기전자재료학회논문지

2008 .01

DRY/WET ETCHING FOR EMITTER IN CRYSTALLINE SILICON SOLAR CELL

Hyun Yub Kim ,  Jae Woo CHOI ,  Kyu Wan SONG 외 2명

AFORE

2011 .11

습식 식각에 의한 실리콘 웨이퍼의 표면 및 전기적 특성변화(1) - 불산 농도에 따른 표면형상 변화 -

김준우 ,  강동수 ,  이현용 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

Bipolar Silicon Wafer Processing

최성현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

레이저습식각을 이용한 용융실리카의 미세구멍가공

백병선 ,  이종길 ,  전병희

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

나노초 펄스 레이저 응용 사파이어/실리콘 웨이퍼 미세 드릴링

김남성 ,  정영대 ,  성천야

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2010 .02