1MeV 인 이온 주입시 RTA에 의한 미세결함 특성과 latch-up 면역에 관한 구조 연구

노병규 ,  윤석범

전기전자학회논문지

1998 .08

1 MeV 고에너지로 붕소 ( Boron ) 와 인 ( Phosphorus ) 을 이온주입 시 급속 열처리에 따른 도핑 프로파일 ( A Study on Boron and Phosphorus Doping Profile by RTA using 1MeV High Energy Ion Implantation )

강희원 ,  전현성 ,  노병규 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

1MeV 고에너지로 붕소(Boron)와 인(Phosphorus)을 이온주입 시 급속 열처리에 따른 도핑 프로파일

강희원 ,  전현성 ,  노병규 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

A Critical Behavior of Defect Density as a Function of Ion Dose During the Buried Layer Formation Using 1.5 MeV B Implantations

Yoon Taek Jang ,  Tae Hoon Huh ,  Jae Sang Ro

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Cumulative Behavior of Microdefect and Softening in a Polymeric Material ( JAPAN )

Misao Namatame ,  Masahisa Takashi

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1990 .07

MeV 이온주입에 의한 $P^{+}$ Buried Layer 형성시 발생하는 결함에 관한 연구

유승한 ,  장윤택 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MeV $B^+$ 이온주입에 의한 Self-Gettering 효과

조남훈 ,  허태훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

A Study on the Defects in the Fabrication of CMOS Retrograde Well Including A Buried Layer Using MeV Ion Implantation

장윤택 ,  허태훈 ,  유승한 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

실리콘에 붕소의 고에너지 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구

정원채

전기전자재료학회논문지

2002 .01

낮은 에너지의 As₂^(+) 이온 주입을 이용한 얕은 n^(+)-p 접합을 가진 70nm NMOSFET의 제작 ( 70nm NMOSFET Fabrication with Ultra-shallow n+-p Junctions Using Low Energy As₂^(+) Implantations )

최병용 ,  성석강 ,  이용덕 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .02

미소결함의 형상인식을 위한 디지털 신호처리 적용에 관한 연구

김재열 ,  홍석주 ,  이규태 외 3명

한국공작기계학회지

2000 .02

MeV 이온빔 분석 기술

김태곤 ,  송종한

고분자 과학과 기술

2003 .02

MeV 이온주입에 의해 형성된 Retrograde Triple well에서 발생하는 결함들의 상호작용

류한권 ,  김대영 ,  노재상 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

이온주입 제어에 의한 재료특성 개선에 관한 연구

양영준 ,  이치우 ,  후지타 카즈히사

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .11

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

A Study on Development of Advanced Environmental-Resistant Materials Using Metal Ion Processing

Kazuhisa Fujita ,  Hae-Ji Kim

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .10

Various surface modifications of polymer by ion implantation

김보영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

급속 열처리 ( RTA ) 에 의한 실리콘 이온주입 갈륨 비소의 활성화 특성에 관한 연구 ( A study on the activation characteristics of silicon ion implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11