MeV 이온주입에 의한 $P^{+}$ Buried Layer 형성시 발생하는 결함에 관한 연구

유승한 ,  장윤택 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

A Study on the Defects in the Fabrication of CMOS Retrograde Well Including A Buried Layer Using MeV Ion Implantation

장윤택 ,  허태훈 ,  유승한 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

MeV 이온주입에 의해 형성된 Retrograde Triple well에서 발생하는 결함들의 상호작용

류한권 ,  김대영 ,  노재상 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

MeV $B^+$ 이온주입에 의한 Self-Gettering 효과

조남훈 ,  허태훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Diffusion / Ion Implantation

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성

박창준 ,  서용진 ,  김상용

전기전자재료학회논문지

2003 .01

1 MeV argon 이온주입에의해 유기된 결함 및 회복기구의 XTEM 분석 ( XTEM Study of 1 MeV Ion Implantation Induced Defects in Si and Their Annealing Behavior )

김광일 ,  권영규 ,  배영호 외 4명

전자공학회논문지-A

1993 .08

1MeV 인 이온 주입시 RTA에 의한 미세결함 특성과 latch-up 면역에 관한 구조 연구

노병규 ,  윤석범

전기전자학회논문지

1998 .08

Study on Microdefect Characteristics Analysis by RTA in 1MeV P Ion Implantation for High Memory Devices

Byeong Gyu Roh ,  Hee Won Kang ,  So Haeng Cho 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

MeV 이온주입된 실리콘의 열처리시 불순물과 이차결함간의 상호작용

장윤택 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

낮은 에너지의 As₂^(+) 이온 주입을 이용한 얕은 n^(+)-p 접합을 가진 70nm NMOSFET의 제작 ( 70nm NMOSFET Fabrication with Ultra-shallow n+-p Junctions Using Low Energy As₂^(+) Implantations )

최병용 ,  성석강 ,  이용덕 외 1명

전자공학회논문지-SD

2001 .02

MeV 이온빔 분석 기술

김태곤 ,  송종한

고분자 과학과 기술

2003 .02

실리콘에 MeV로 이온주입된 As 와 Sb의 profile과 열처리에의한 이온의 거동에 관한 연구 ( A Study of Profiles and annealing behavior of As and Sb by MeV implantation in silicon )

정원채

전자공학회논문지-D

1998 .03

이온주입 공정을 이용한 4H-SiC p-n Diode에 관한 시뮬레이션 연구

이재상 ,  방욱 ,  김상철 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

A Study on Development of Advanced Environmental-Resistant Materials Using Metal Ion Processing

Kazuhisa Fujita ,  Hae-Ji Kim

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .10

실리콘에 붕소의 고에너지 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구

정원채

전기전자재료학회논문지

2002 .01

이온주입 제어에 의한 재료특성 개선에 관한 연구

양영준 ,  이치우 ,  후지타 카즈히사

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .11

Various surface modifications of polymer by ion implantation

김보영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

이온주입에 의한 Al5202의 표면특성에 관한 연구

김남훈 ,  김남경 ,  김경균

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2006 .06

1 MeV 고에너지로 붕소 ( Boron ) 와 인 ( Phosphorus ) 을 이온주입 시 급속 열처리에 따른 도핑 프로파일 ( A Study on Boron and Phosphorus Doping Profile by RTA using 1MeV High Energy Ion Implantation )

강희원 ,  전현성 ,  노병규 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07