The Optimum Condition of Anisotropic Bulk (110) Si Etching with KOH for High Selectivity and Low Surface Roughness

Hyung-Teak Lim ,  Yong-Kweon Kim ,  Seung-Ki Lee

Journal of Electrical Engineering and Information Science

1997 .10

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

알루미늄 식각을 위한 RIE 장치의 제작 및 성능의 연구 ( A study on the fabrication and performance of RIE mode Aluminium Etching System )

황기웅 ,  김윤택

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Fabrication of Nanometric Aperture Arrays by Wet Anistropic Etching for Near-Field Optical Memory Application

M. B. Lee ,  K. Tsutsui ,  M .Ohtsu 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

The Optimum Condition of Anisotropic Bulk (110) Si Etching with KOH for High Selectivity and Low Surface Roughness

Hyung-Teak Lim ,  Yong-Kweon Kim ,  Seung-Ki Lee

Journal of Electrical Engineering and information Science

1997 .10

Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Fabrication of Electrostatic Polysilicon Micro Actuator using HF Vapour Phase Etching Process

이종현 ,  이재열 ,  최부연 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

나노스크래치와 KOH 에칭 기술을 병용한 Si (100) 패턴제작

윤성원 ,  이정우 ,  강충길

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2003 .05

The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon

신화숙 ,  지경구 ,  정찬욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Generation of a Pulse Plasma and its Application to Polysilicon Etching

정찬욱 ,  K. K. Chi ,  Y. B. Koh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Fabrication of micro gas sensor using Si deep RIE process

Joon-Shik Pa ,  k ,  Kwang-Bum Pa 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

A Novel Compensation Method for KOH Etching of ( 110 ) Silicon

김병욱 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

저온을 이용한 Contact Etching Process 에 대한 연구

황정원 ,  변광욱 ,  양태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

실험계획법에 의한 $CF_4/O_2$ 플라즈마 에칭공정의 최적화에 관한 연구

최만성 ,  김광선

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O/N 플라즈마 건식 식각

김재권 ,  김주형 ,  박연현 외 5명

한국재료학회지

2007 .01

Fabrication of Electrostatically Driven Comb Actuator Using (110) Oriented Si Anisotropic Etching

Hyung-Taek Lim ,  Sang-Hun Lee ,  Seong-Hyok Kim 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

실리콘 기판상에 RIE와 산화과정을 적용한 채널 도파로 제작 ( Fabrication of the Channel Waveguide by RIE Technique and Thermal Oxidation on Si Wafer )

홍순광 ,  이소영 ,  김광택 외 2명

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1998 .01

실리콘 기판상에 RIE와 산화과정을 적용한 채널 도파로 제작 ( Fabrication of the Channel Waveguide by RIE Technique and Thermal Oxidation on Si Wafer )

홍순광 ,  이소영 ,  김광택 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

표면자장이 RIE에 미치는 영향 ( The Effects of a Surface Magnetic Field on RIE )

한해욱 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1987 .11