Novel Fabrication of Comb Drive Actuator Using RIE of Polysilicon and ( 110 ) Si Anistropic Bulk Etching in KOH

Hyung Taek Lim ,  Yong Kweon Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

DMD 빔 투과 광학계 개선을 위한 서브 마이크론급 압전 정렬 기술 개발

홍민성 ,  이형규 ,  박종서

한국생산제조학회지

2017 .10

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Study of Self-Limiting Etching Behavior in Wet Isotropic Etching of Silicon

C. H. Han ,  E. S. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

기판의 왕복 운동을 이용한 인라인 식각세정장치 내 ITO 식각특성

홍성재 ,  권상직 ,  조의식

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Enhancement the optical property of AZO Film with wet etching process

So-Hyoun Jeon ,  Hyeon-Jin Seo ,  Jung-Hoon Yu 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Aperture를 이용한 MLA의 효율 개선

서현우 ,  남민우 ,  오해관 외 6명

반도체디스플레이기술학회지

2011 .01

Optical Card 시스템에서의 마이크로렌즈 조사 광프로브 어레이 설계 및 제작

강신일 ,  김석민 ,  김홍민 외 2명

정보저장시스템학회논문집

2006 .01

반송제어모드를 이용한 인라인 식각/세정장치의 ITO 전극형성기술

홍성재 ,  임승혁 ,  한형석 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

2008 .04

A Compacted In-line Wet Etch/Cleaning System With a Reverse Moving Control System

Im ,  Seung-Hyeok ,  Cho 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

A High Aperture Ratio TFT Design for Bottom Emission Type AMOLED

Chien ,  Yao Hong ,  Huang 외 1명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01

Fabrication of non-wetting surfaces on aluminum

Hi ,  oki Habazaki ,  Katsutoshi Nakayama 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

비등방경화 구성모델을 이용한 대변형 해석 : I . 정식화

오세붕

한국지반공학회논문집

2002 .08

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

Experimental Study on Spray Etching Process in Micro Fabrication of Lead Frame

Ji-Won Jung ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

Journal of Mechanical Science and Technology

2004 .12

Study on vertical wet etching of aluminum metal film for TFT application

Lee ,  Sang-Hyuk ,  Seo 외 18명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Fabrication of aluminum micro-lens cavity arrays using modified wet etching process of high purity aluminum for the durable micro-lens mold

Woong Ki Jang ,  Byeong Hee Kim ,  Young Ho Seo

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

Fabrication of Novel Metal Field Emitter Arrays(FEAs) Using Isotropic Silicon Etching and Oxidation

Chang-Woo Oh ,  Chun-Gyoo Lee ,  Byung-Gook Pa 외 3명

Journal of Electrical Engineering and information Science

1997 .12

The Fabrication of Megasonic Agitated Module (MAM) for the Improved Characteristics of Wet Etching

Tae Gyu Pa ,  k ,  Sang Sik Yang 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2008 .06