E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Projection Optics , E-Beam과 X-Ray를 이용하는 Fine Line Lithography

권영세

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Ultra-extensive area symmetric block copolymer lithography enabled by I-line photo-lithography

진형민 ,  문형석 ,  정성준 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

라인 레이저를 이용한 원통 부착물의 심도 측정

김용하 ,  고광진 ,  연승호 외 1명

멀티미디어학회논문지

2017 .01

E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )

유상기 ,  김여환 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .01

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

Delay Analysis of Coupled Transmission Lines

And ,  ew B. Kahng ,  Sudhaka 외 1명

대한전자공학회 기타 간행물

1996 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Micro-second 레벨의 지연시간을 가지는 Voltage Controlled Delay Line

이상수 ,  이재승 ,  여동희 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10