X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )

최영규 ,  양전욱 ,  이재신 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

X-ray Lithography Technology

황기웅

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

X선 리소그라피 기술 동향

이경수 ,  강진영

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .09

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Lithography 기술과 Trend에 대한 고찰

조한구

전자공학회지

2001 .08

Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography

김병태

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

X-Ray Lithography : Recent Progress and Future Developments

Katsumi Suzuki

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

X - Ray Lithography Overview and System Design Consideration

유형준

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

Synchrotron X-ray Lithography

윤창주

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

반도체 이머젼 리소그라피 공정의 찌꺼기 연구

김현석 ,  이시응 ,  이기호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 ,  오혜근 ,  김성주

전자공학회지

1992 .05

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

스테가노그라피의 이론적 배경과 검출기법

김형중

정보보호학회지

2002 .02

임프린트 리쏘그라피를 이용한 나노선 편광 소자의 제작

윤상수 ,  안세원 ,  이성은 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .11

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Enhancement of Alignment Accuracy with a Novel X-ray Mask in Mix-and-Match of Optical and X-ray Lithography

최상수 ,  전영진 ,  Enzo Di Fab 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Optical Lithography at Low K Factors

Ha ,  y Sewell

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Quarter-Micron Lithography 개발 현황 및 향후 Advanced Lithography 기술 전개 방향

허훈

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

대면적 Lithography 장비의 Stage 설계에 대한 고찰

정준영 ,  이우영 ,  임경화 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01