Study on removing the defects in LPCVD poly-Si films by two-stage deposition method

Kim Gyong Nam

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1995 .08

Poly-Si의 성장 기구와 제특성

김상욱 ,  박종욱 ,  천영일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .07

마이크로웨이브법으로 고상결정화 시킨 poly-Si 박막을 이용하여 제작한 저온 poly-Si TFT의 특성

최용우 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing을 이용한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터에의 응용

김존수 ,  문선홍 ,  양용호 외 2명

한국재료학회지

2014 .01

LPCVD로 증착된 WSi_x/poly-Si막 두께변화에 의한 W-polycide특성

金泰亨 ,  金昌日 ,  張宜久

전기학회논문지

1992 .10

Improvement in Electrical Stability of poly-Si TFT Employing Vertical a-Si Offsets

Pa ,  k ,  J.W. 외 5명

한국정보디스플레이학회 학술대회

2000 .01

자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

朴基燦 ,  朴辰雨 ,  鄭湘勳 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .01

저수소화 비정질 Si 박막 증착 및 ELC poly-Si TFT의 특성 연구

한상용 ,  최재식 ,  권도현 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

A Study on the Deposition of a-Si : H Films for High Photoconductivity

Moon Sang Kang ,  Yong Seo Koo ,  Chul An

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

펄스 레이저 증착법으로 성장된 실리콘 박막의 어닐링 온도 변화에 따른 발광 특성연구

김종훈 ,  전경아 ,  이상렬

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Effect of Substrate Temperature on Polycrystalline Silicon Film Deposited on Al Layer

안경민 ,  강승모 ,  안병태

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

다결정 박막실리콘 태양전지의 연구개발 동향

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 4명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

1997 .11

The a-Si:H/poly-Si Heterojunction Solar Cells

Sang-Su Kim ,  Do-Young Kim ,  Dong-Gun Lim 외 3명

Journal of Electrical Engineering and information Science

1997 .10

Processing and Characterization of Ultra-thin Poly-crystalline Silicon for Memory and Logic Applications

Eunseon Yu ,  Youngmin Kim ,  Junsoo Lee 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2018 .04

Laser crystallization of Si film for poly-Si thin film transistor on plastic substrates

Kwon ,  Jang-Yeon ,  Cho 외 17명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01

ELA(Excimer laser Annealing)에 의한 poly-Si의 $O_2$plasma에 의한 계면 거칠기 제어와 poly-Si TFT 특성에 관한 연구

최재식 ,  권도현 ,  한상용 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Multijunction Solar Cells Using A-Si:H Films on Poly-Si Wafer

임동건 ,  김홍우 ,  심경석 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Room Temperature Preparation of Poly-Si Thin Films by IBE with Substrate Bias Method

Kiyoshi Yatsui ,  양성채 ,  주병윤 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2005 .01

High-Conductivity Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) : Poly(styrene sulfonate) Films using Electrospray Deposition Method

김용희 ,  강홍규 ,  이종진 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10