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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusions
Reference
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LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Off-Current Mechanism of LPCVD Poly-Si Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
LPCVD로 증착된 WSix/poly-Si막 두께변화에 의한 W-polycide특성
전기학회논문지
1992 .10
LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
Study on Removing the Defects in LIPCVD Poly-Si Film by two-stage Deposition Method
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
1995 .01
LPCVD 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 관한 연구
전기학회논문지
1994 .12
증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1992 .07
Poly-Si의 성장 기구와 제특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .07
EFFECT OF DEPOSITION CONDITIONS AT THE HETEROGENEOUS NUCLEATION SITES ON THE CRYSTALLIZATION BEHAVIOR OF LPCVD a-Si FILMS ON $SiO_2$
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
고온용 압력센서 응용을 위한 in-situ 인(P)-도핑 LPCVD Poly Si 전극
센서학회지
2017 .01
세 가지 다른 구조로 제작된 LPCVD Si₃N₄ 센서 소자의 pH 감지특성의 비교분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )
전자공학회논문지-A
1992 .06
증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
얇은 열산화-질화막의 특성평가 ( Evaluation of Characteristics of Oxidized Thin LPCVD-Si3N4 Film )
전자공학회논문지-A
1992 .09
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