Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Modeling of Three-Dimensional Thermal Oxidation

이준하 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

PARAMETRIC STUDY ON THE SHEET RESISTANCE OF THE ION IMPLANTED SILICON WAFERS AFTER RAPID THERMAL ANNEALING

Chi Hoon Jun ,  Youn Tae Kim ,  Young Soo Lee 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Properties of Co-silicide prepared by rapid thermal annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING WHEN USED FOR ANNIHILATION OF THERMAL DONORS IN SILICON ON SUBSEQUENT OXYGEN PRECIPITATION

W. Mu ,  ay Bullis

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

표면 보호막 생성에 Rapid thermal oxidation을 이용한 실리콘 솔라셀

류경선 ,  허관준 ,  김성진

대한전자공학회 학술대회

2013 .11

고속 열확산에 의해 제작된 다이오드의 Rapid Thermal Alloy ( Rapid Thermal Alloy of Fabricated Diode by Rapid Thermal Diffusion )

이동엽 ,  이영희

전자공학회논문지-A

1992 .02

Rapid Thermal Annealing Using Vertical Movable Heat Treatment Equipment

Tong Gyu Kim ,  Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Shono

대한전자공학회 세미나

1991 .01

Three-Dimensional Analytical Model for Thermal Oxidation Process

Jun Ha Lee ,  Oh Keun Kwon ,  Ki Ryang Byun 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

RAPID THERMAL PROCESSING CHARACTERIZATION

C. B. Ya ,  ling ,  W. A. Keenan

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

THERMAL OXIDATION OF POLYMER BLENDS

박현길 ,  T . K . Kwei ,  E . M . Pea 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1989 .04

COMPUTER SIMULATION OF RAPID THERMAL ANNEALING OF THE SILICON OXIDE IN AMMONIA AMBIENT

H. Wong ,  Y. C. Cheng ,  P. T. Lai

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Application of Modified Rapid Thermal Annealing to Doped Polycrystalline Si Thin Films Towards Low Temperature Si Transistors

So ,  Byung-Soo ,  Kim 외 5명

한국재료학회지

2008 .01

여름철 열적 반응 평가용 열환경챔버의 제어 특성

김명호 ,  배귀남 ,  김영일 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

1999 .11

Effect of silver nanoparticles on the thermal and mechanical properties of PVA nanofibers during thermal annealing

육지호 ,  Tao Ren ,  설창

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2007 .04

위성 열구조 모델의 열평형 시험과 열해석 (Ⅱ)

김희경 ,  이장준 ,  현범석

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2009 .04

위성 열구조 모델의 열평형 시험과 열해석 (Ⅰ)

김희경 ,  이장준 ,  현범석

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2009 .04

Rapid Thermal Process에 의해 형성시킨 얇은 산화막의 전기적 특성

이철진 ,  성만영 ,  성영권

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11