압전소자와 원형 굽힘힌지를 이용한 초정밀 위치결정기구 개발 ( Development of the Ultraprecision Positioning Mechanism Using the Piezo Actuators and the Universal Circular Flexures )

박희재; 박종호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박희재 박종호

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 춘추학술대회 1996년 제1권 제1호

발행연도: 1996.1

수록면: 701 - 708 (8page)

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