유연 힌지를 이용한 초정밀 3자유도 병렬 매니퓰레이터 개발

신동익; 김영수; 서승환; 한창수; 최두선; 황경현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 신동익 김영수 서승환 한창수 최두선 황경현

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.7

발행연도: 2009.7

수록면: 127 - 133 (7page)

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We present a 3-PRS compliant parallel manipulator actuated by PZTs. The motion ranges are 400-㎛ translation to the z-direction and 5.7-mrad rotation about any axis on the x-y plane. A mechanical amplifier whose advantage is approximately 5.5 is designed and integrated with flexure revolute and spherical joints in a monolithic way. We evaluated the performance of the system: kinematic and dynamic characteristics. In kinematic point of view, the flexures play the roles of conventional mechanism but any nonlinearity such as dead-zone and backlash, which make it possible to achieve the steady-state resolution less than 0.1 ㎛. The system shows resonance near 86 ㎐ with high magnitude and, therefore, poor transient response. But the settling is faster when the flexures are strained higher.

#Parallel Manipulator (병렬 매니퓰레이터) #3-PRS #Mechanical Amplifier (기계 변위 증폭기) #Flexure Hinge (유연 힌지) #Piezoelectric Actuator (압전 액추에이터)

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