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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 미세이동공구대
3. PID 제어기 및 공구대 모델링
4. 실험결과
5. 결론
참고문헌
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초정밀 위치결정 기술
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2008 .06
초정밀 가공위한 FTS의 특성평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
대면적 미세가공을 위한 고주파 Fast Tool Servo 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
1kHz 급 Fast Tool Servo 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
초정밀 위치 결정을 위한 이중 서보 제어용 미세 구동 메카니즘
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1994 .11
Fast Tool Servo를 이용한 초정밀가공
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1998 .05
초정밀가공시스템과 가공공정의 이슈사항 및 기술동향
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2018 .05
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2009 .10
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1996 .11
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1997 .10
이송정밀도 향상을 위한 위치제어 보상에 관한연구
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2010 .10
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2017 .05
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2010 .10
압전소자를 이용한 정밀 액츄에이터의 설계 및 실험적 특성 분석 ( Design and Experimental Analysis of Precise Actuator Using Piezoelectric Elements )
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1995 .01
초정밀 절삭가공의 현상과 향후 동향
기술사
1990 .01
압전소자와 원형 굽힘힌지를 이용한 초정밀 위치결정기구 개발 ( Development of the Ultraprecision Positioning Mechanism Using the Piezo Actuators and the Universal Circular Flexures )
대한기계학회 춘추학술대회
1996 .01
FTS시스템을 이용한 룰외 미세 패턴 가공
한국기계가공학회지
2011 .12
마이크로 패턴 가공을 위한 Fast Tool Servo 시스템 설게 및 해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .04
초정밀가공기용 주축/안내면 기술
기계와 재료
1990 .01
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