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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 시스템 구동 메카니즘
3. 시스템 모델링
4. 실험 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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초정밀 위치결정을 위한 이중서보제어용 미세구동 메카니즘 ( A Fine Motion Mechanism of Dual Servo Control for Ultraprecision Positioning )
대한기계학회 논문집
1995 .11
초정밀 위치결정 기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .12
초정밀 위치 제어를 위한 이중 서보 메커니즘의 설계 및 제어
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .10
서보 메카니즘을 이용한 초정밀 인장시스템 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
정밀 위치제어 서보시스템의 성능 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
초정밀 위치 제어를 이한 이중 서보 시스템의 보상기 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
초정밀 가공기용 FTS를 위한 압전 액츄에이터의 위치제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .11
공압서보시스템에 의한 미세 간극제어 시스템 설계
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .12
광 픽업 장치의 H∞ 위치 서보제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
1996 .05
초정밀 인장 시스템의 메카니즘 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
Accurate Positioning of a Pneumatic Servo System
한국해양공학회지
1998 .11
공기정압 stage의 초정밀위치결정을 위한 기본특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .10
PZT를 이용한 초정밀 레이저가공의 초음파진동 메카니즘 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .04
압전소자와 원형 굽힘힌지를 이용한 초정밀 위치결정기구 개발 ( Development of the Ultraprecision Positioning Mechanism Using the Piezo Actuators and the Universal Circular Flexures )
대한기계학회 춘추학술대회
1996 .01
초정밀서보기구의 제어성능 평가(1)
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
초정밀서보기구의 제어성능 평가 (Ⅱ)
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .05
공압 서보 시스템을 이용한 간극 제어 시스템 설계
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2001 .10
서보메카니즘을 위한 마찰 보상제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
Networked servo motor control systems
정보 및 제어 논문집
2004 .05
개구형 근접장 헤드장치의 간극제어를 위한 이중 서보 제어
한국소음진동공학회논문집
2006 .05
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