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이용수
1. 서론
2. 초정밀 위치결정계의 구성요소
3. 초정밀 위치결정계의 제어
4. 위치결정계의 문제점과 요인
5. 초정밀 위치경정계의 적용 예
6. 결론
참고문헌
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공기정압 stage의 초정밀위치결정을 위한 기본특성
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2000 .10
초정밀 위치 결정을 위한 이중 서보 제어용 미세 구동 메카니즘
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1994 .11
초정밀위치결정기술
기계와 재료
1990 .01
압전소자와 원형 굽힘힌지를 이용한 초정밀 위치결정기구 개발 ( Development of the Ultraprecision Positioning Mechanism Using the Piezo Actuators and the Universal Circular Flexures )
대한기계학회 춘추학술대회
1996 .01
초정밀 위치 결정 시스템
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
Recent Development of Ultraprecision Micro Machining Technology
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
초정밀 가공기용 FTS를 위한 압전 액츄에이터의 위치제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .11
초정밀 절삭가공의 현상과 향후 동향
기술사
1990 .01
초정밀 위치결정 및 응용 기술
한국공작기계학회지
2002 .11
초정밀 롤 가공기의 온도 상승 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
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한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
극초단 고에너지 빔 응용 초정밀 하이브리드 가공 시스템 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .10
SPM 용 Long Range 초정밀 스테이지 개발 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
초정밀 위치결정을 위한 이중서보제어용 미세구동 메카니즘 ( A Fine Motion Mechanism of Dual Servo Control for Ultraprecision Positioning )
대한기계학회 논문집
1995 .11
The Evaluation of the Loop stiffness and the Vibration characteristic of an Ultraprecision 5-axis machine tool
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
고에너지 빔 응용 초정밀 하이브리드 가공 시스템 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .04
초정밀선반의 試作과 실험
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1991 .06
진동절삭을 적용한 초정밀절삭
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
초정밀가공시스템을 이용한 나노가공기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .01
정밀위치 제어를 위한 리니어모터 위치결정기구의 모형화 및 매개변수 추정
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
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