저온폴리실리콘 (LTPS) TFT 기술 동향

정병호 ,  강민진 ,  박태상

인포메이션 디스플레이

2019 .01

Low GWP 가스 저온 ICP 식각 공정 표면 분석

장호준 ,  최진우 ,  배정운 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

낮은 GWP를 가지는 Fluorocarbon 이성체에 따른 HARC 식각 특성 연구

박명호 ,  탁현우 ,  최찬혁 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

[인터뷰 ➋] 코플랜드 독립법인 출범… 한국코플랜드(주) 콜드체인사업부 동북아 담당 곽병권 상무_“앞으로 탈탄소 위해 Low GWP에서 GWP 0나 자연냉매로의 전환 필요하다

성백진

냉동공조저널

2023 .07

자체 참조 구현 LTP 기능 시험 수행

구철회

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2022 .11

웹 기반 LTP 세그먼트 분석기

박희웅 ,  안상일

한국통신학회 학술대회논문집

2021 .06

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물의 순환형 식각 공정

길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

Low GWP 냉매 적용 동향

임병한 ,  진동식 ,  윤인철 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2018 .11

이종 접합층을 이용한 LTPS 박막 트랜지스터의 이동성 향상

박진수 ,  김태용 ,  김재민 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .11

Low GWP 냉매 동향

임병한 ,  조동호 ,  채왕병 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2023 .11

Low GWP 대체냉매 적용 냉동시스템의 안전성 평가 사례

임병한 ,  김권진 ,  서형준

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2016 .11

High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구

탁현우 ,  이혜주 ,  정병호 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

Reaction Rate Simulation of Polishing Etch Process on Crystalline Silicon Solar Cell Using Chemical Kinetics Theory

Soo Min Kim

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구

김두산 ,  박진우 ,  이원오 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

반응성 이온 식각(RIE) 공정 시에 발생하는 플라즈마 데미지 및 부산물 제거에 따른 다결정 실리콘 태양전지 효율 향상 연구

김무중 ,  민관홍 ,  박성은 외 5명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .10

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

Low GWP 대체냉매의 히트펌프 적용 성능평가

장지영 ,  서기원 ,  문동수 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2016 .11

Zero-GWP 공기 냉매 냉방/냉동 성능 분석

이범준 ,  조종재 ,  신형기 외 8명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

코로나 방전 플라즈마에 의한 NOx제거에서 NaOH 수용액의 영향

주정아 ,  박진구 ,  서준기 외 1명

전기전자재료학회논문지

2023 .03