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CMP 연마 입자 크기가 산화갈륨 기판의 거칠기에 미치는 영향
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
산화갈륨(Ga₂O₃) CMP 에서 슬러리 pH 에 따른 연마 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Thermal Effect in Oxide Film Chemical Mechanical Polishing
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .04
패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
광경화 적층제조된 CMP 패드의 연마 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
웨이퍼의 대구경화가 Cu CMP 의 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
니켈 CMP 에서 툴마크 제거를 위한 화학첨가제에 따른 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
초고압력 Head Unit 이 CMP 장비의 변형에 미치는 영향 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
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