메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
길준혁 (한국기술교육대학교) 이나영 (한국기술교육대학교) 신윤경 (한국기술교육대학교) 배장원 (한국기술교육대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2023년 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 [2개 학회 공동주최]
발행연도
2023.5
수록면
2,585 - 2,592 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (4)

초록· 키워드

오류제보하기
사회가 발전함에 따라 반도체의 수요가 많아지고 있다. 많은 기업에서 반도체 공정에서 사용하는 웨이퍼의 기울기에 대한 수요가 증가하고 있으며, 기업의 다양한 수요에 맞는 반도체 제조 능력이 중요해지고 있다. 본 연구는 원하는 반도체 웨이퍼 기울기를 제작하는데 요구되는 반도체 공정의 영향 인자 도출 및 개선을 목적으로 하며, 이를 위해 실제 기업의 반도체 공정 데이터를 회귀분석을 통해 웨이퍼의 기울기에 영향을 주는 주요한 요인들을 분석하였다. 분석 결과 확인한 인자와 웨이퍼 기울기 사이의 유의미한 관계를 볼 수 있었으며, 이를 응용하여 원하는 기울기를 맞추는 데 필요한 적절한 대응 방법을 제시할 수 있었다.

목차

Abstract
1. 서론
2. 공정 데이터 전처리 모듈 개발
3. EDA
4. Linear Regression
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0