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반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2017 .04
반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2023 .05
Deep learning을 활용한 반도체 CMP 공정의 가상계측 시스템 제안
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .02
강화학습을 이용한 웨이퍼의 품질과 다품종 생산을 고려하는 반도체 제조 장비 스케줄링
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2021 .11
관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2022 .11
웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
데이터 기반의 핵심 반도체 제조 공정 선정에 관한 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2017 .11
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
다중센서 기반 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
인피니언 테크놀로지스_초박형 20μm 전력 반도체 웨이퍼 공정 성공해
전자기술
2024 .12
앙상블 기법을 활용한 반도체 공정 간 Q-Time over 예측
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2020 .07
그래프 중심성들을 이용한 그래프 유사도 측정
한국컴퓨터정보학회논문지
2018 .12
반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
[로봇제어자동화 부문] 반도체 제조공정 웨이퍼 스테이지의 모델 기반 위치결정 부스트
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
반도체 계측 데이터 기반 군집화를 적용한 개선된 품질 예측
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
웨이퍼 맵의 정량적 분류 체계 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2019 .11
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