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최원태 (홍익대학교) 박태현 (가천대학교) 허재현 (가천대학교) 김정진 (홍익대학교) 차호영 (홍익대학교)
저널정보
한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제33권 제2호(통권 제297호)
발행연도
2022.2
수록면
92 - 97 (6page)

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본 연구에서는 AlGaN/GaN 이종접합 기반의 수소센서를 제작하였으며, SnO₂ 나노입자를 Pd 촉매층 상부에 도포하여 상온에서의 감지 특성을 개선하였다. SnO₂ 나노입자는 간단한 스핀코팅 방식으로 촉매층 상부에 추가되었으며, 열처리 공정을 통하여 흡착시켰다. 비교군으로 Pd 촉매층만을 사용한 경우에도 상온에서의 수소 반응성을 보였으나, 반응시간 및 회복 시간이 오래 걸리는 단점이 있지만, SnO₂ 나노입자를 추가할 경우 증가된 반응 표면적 효과와 더불어 SnO₂에서의 산화 및 환원 반응 기작으로 매우 빠른 반응 및 회복 특성을 나타냈다. 특히, 자외선을 조사한 경우에 SnO₂ 나노입자가 포함된 센서의 경우 반응도의 추가적인 개선 효과까지 보였다.
#AlGaN/GaN Heterojunction #Hydrogen #Ultra Violet #SnO₂ Nanoparticle #Response

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
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