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자료유형
학술저널
저자정보
김태근 (충북대학교 신소재공학과) 장건익 (충북대학교)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제31권 제4호
발행연도
2021.8
수록면
154 - 158 (5page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2021.31.4.154

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2021

혼합기체 O2/Ar+O2 농도 변화가 Mn 도핑된 SnO2 투명전도막의 상 안정성에 미치는 영향
김태근 ,  장건익 한국결정성장학회지 2021.08 학술저널

2018

산소와 아르곤 가스 유량비율에 따른 Mn-SnO2/Ag/Mn-SnO2 투명 다층 전도막의 광학적, 전기적 특성
김태근 재료공학과 2018.01 학위논문

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550 nm 파장대에서 O2/Ar+O2 혼합기체 농도비가 0에서 7.9 %로 변화 시 Mn 도핑된 SnO2 투명전도막의 투과율은 80.9에서 85.4 %로 밴드갭 에너지는 3.0에서 3.6 eV로 증가하였다. 비저항은 O2/Ar+O2 혼합기체 농도비가 0에서 2.7 %까지 증가 시 3.21 Ω·cm에서 0.03 Ω·cm으로 감소하다 이후 7.9 %로 증가 시에는, 52.0 Ω·cm으로 급격하게 상승하였다. XPS 분석결과 혼합기체 O2/Ar+O2에서 O2 농도의 증가로 Sn3d5/2의 결합에너지가 486.40에서 486.58 eV로, O1s의 결합에너지도530.20에서 530.34 eV로 조금 변화하였다. 따라서 스파터링 방법으로 제조한 Mn 도핑된 SnO2 투명전도막에서 O2 농도변화에 따라 SnO와 SnO2 2개의 상이 공존하는 것을 확인하였다.
#Mn-doped SnO2 #O2/Ar+O2 #Carrier density #Energy band gap #Binding energy

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