지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.1
- 수록면
- 32 - 37 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Titanium dioxide ($TiO_2$) is a promising dielectric material in the semiconductor industry for its high dielectric constant. However, for utilization on Si substrate, $TiO_2$ film meets with a difficulty due to the large leakage currents caused by its small conduction band energy offset from Si substrate. In this study, we propose an in-situ plasma oxidation process in plasma-enhanced atomic layer deposition (PE-ALD) system to form an oxide barrier layer which can reduce the leakage currents from Si substrate to $TiO_2$ film. $TiO_2$ film depositions were followed by the plasma oxidation process using tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT) as a Ti precursor. In our result, $SiO_2$ layer was successfully introduced by the plasma oxidation process and was used as a barrier layer between the Si substrate and $TiO_2$ film. Metal-oxide-semiconductor ($TiN/TiO_2/P-type$ Si substrate) capacitor with plasma oxidation barrier layer showed improved C-V and I-V characteristics compared to that without the plasma oxidation barrier layer.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Surface modification of MoS₂ by O₂ plasma treatment
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
-
플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기 전도도 조절
한국재료학회지
2018 .01
-
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
-
Effect of Ti Intermediate Layer on Properties of HAp Plasma Sprayed Biocompatible Coatings
Corrosion Science and Technology
2020 .01
-
In-Situ Detection Method of Abnormal Plasma Discharge in Plasma-Assisted Deposition Processes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .04
-
Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2015 .10
-
이산화티타늄이 혼입된 콘크리트 블록의 압축강도 및 질소산화물(NOX) 제거성능 평가
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2021 .11
-
Damage-Free Treatment of ITO Films using Nitrogen-Oxygen (N₂-O₂) Molecular DC Plasma
Current Photovoltaic Research
2015 .12
-
High-quality SiNx thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
-
플라즈마 원자층 증착법을 통한 TiN 코팅 인서트 팁의 내구성 향상 기술 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
-
Surface treatment of metals based on plasma electrolytic oxidation method
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
-
다양한 조건의 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 Mo 금속의 전기적 특성
한국재료학회지
2019 .01
-
Hollow cathode plasma 기반 원자층 증착법 공정온도에 따른 TiN 박막 특성 비교
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
-
Comparative investigation of direct and vortex plasma discharge for treating titanium implant surface
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
-
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
-
A Study for Surface Treatment of Plasma-treated Metal Fibers (I)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .10
-
Plasma actuation 을 위한 저 전압 plasma-on-a-chip.
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
-
상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포
전기학회논문지
2022 .08
-
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0