지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.31 No.5
- 발행연도
- 2022.9
- 수록면
- 113 - 115 (3page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Titanium dioxide (TiO₂) is a desired material for visible light applications owing to its relatively low absorption coefficient and high refractive index compared to those of silicon dioxide (SiO₂) and silicon nitride (Si₃N₄), which are standard CMOS-compatible materials. Since the recent emergence of metasurfaces operating in the visible region, the dry etching of TiO₂ has become crucial for fabricating nanost ... 전체 초록 보기
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Cryogenic Etching in Advanced Electronics Manufacturing: Applications and Challenges
Applied Science and Convergence Technology
2024 .09
-
Applications of fluid based plasma simulation : dry etch
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
Etching properties of titanium nitride thin films in a O₂/Cl₂/Ar plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
-
원자층 식각기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
-
식각된 LED의 식각 깊이와 식각 각도가 광 추출 효율에 미치는 영향
새물리
2020 .10
-
C₃F6O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Colorimetric dual sensor of Fe3+ and Hg2+ ions based on sequential detection by etching and aggregation of gold nanorods
한국분석과학회 학술대회
2017 .11
-
Effects of pulsed inductively coupled Cl₂/Ar plasma for the etching of Si nanostructure
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Influences of Glass Texturing on Efficiency of Dye-Sensitized Solar Cells
Applied Science and Convergence Technology
2015 .11
-
A perspective on patents on dry etching apparatus
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Characteristics of SiO₂ Etching in a C4F8/Ar/O₂ pulse modulation capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
-
Sub-10 nm 수직 배향 DSA etch profile 향상에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
다양한 etch gas를 이용한 자성 박막의 식각특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
Magnetic Properties and Hysteresis Loss Improvement of Fe Alloy Powder by NH₄OH Etching
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .05
-
Characteristics of SiO₂ Etching by Capacitively Coupled Plasma with Different Fluorocarbon Liquids (C7F14, C7F8) and Fluorocarbon Gas (C₄F8)
Applied Science and Convergence Technology
2021 .07
-
초음파 합성 적용 Cu₂O-TiO₂ (P-N 타입) 반도체 나노물질의 가시광 활성 평가
한국환경과학회지
2019 .11
-
Synthesis and characterization of noble metal coupled N-TiO₂ nanoparticles
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
Titanium dioxide nanorods on microstructured Si substrate for photovoltaic applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
-
A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2023-420-000219712