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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김상열 (엘립소테크놀러지)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제32권 제4호
발행연도
2021.8
수록면
172 - 179 (8page)

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높은 종횡비를 가지는 미세 패턴 시료의 하부층 구조결함에 대해 높은 민감도를 가지는 광학적 임계치수 측정 장비로서 준 수직입사 타원계를 제안한다. 이 준 수직입사 타원계에서는 입사광은 편광자와 위상지연자를 순차적으로 통과하며 반사광은 이들을 역순으로 통과한다. 하나의 편광자와 하나의 위상지연자를 입사광과 반사광이 공유하며 편광자와 위상지연자의 여러 방위각 조합에서 측정한 빛의 세기로부터 타원상 수를 결정하는 이 준 수직입사 타원계의 측정원리를 검토하고 최적의 타원상수 측정방법을 제시한다.
#High aspect ratio #Near-normal-incidence ellipsometer #Optical critical dimension #Rotating compensator ellipsometer #높은 종횡비 #준 수직입사 타원계 #광학적 임계치수 #회전보정기 타원계

목차

I. 서론
II. 편광자-보정기-시료-보정기-검광자 배치 타원계
III. 몇 가지 (P,C) 방위각 조합에서의 타원식
IV. 결론
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