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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김상열 (엘립소테크놀러지)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제33권 제2호
발행연도
2022.4
수록면
59 - 66 (8page)

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각 편광소자의 방위각을 자유롭게 제어하는 자유형 구동방식에 기반한 뮬러행렬타원계(Mueller matrix ellipsometer, MME)를 제시한다. 보정기의 위상지연각 분산특성과 전기장 투과율비의 파장의존성을 고려하여 시료에 입사하는 빛의 편광상태를 최적화하기 위한 편광자의 방위각과 편광자측 보정기의 방위각 조합들을 제시한다. 시료로부터 출사하는 빛의 스톡스상수들을 빠르고 정확하게 측정할 수 있는 검광자의 방위각과 검광자측 보정기의 방위각 조합들, 그리고 출사하는 빛의 스톡스상수들을 구하는 수학적 표현들을 제시한다. 이 MME는 이상적이지 않은 4분파장 위상지연자를 적용할 수 있도록 보정기 선택의 폭을 넓혀주므로 깊은 자외선(deep ultraviolet)부터 근적외선(near infrared)에 이르는 매우 넓은 파장 대역에 걸쳐 작동하는 뮬러행렬 분광타원계(Mueller matrix spectroscopic ellipsometer, MMSE)의 제작과 활용을 용이하게 해 줄 것이다.
#Imperfect compensator #Mueller matrix ellipsometer #Wide spectral range #불완전한 보정기 #뮬러행렬타원계 #광파장대역

목차

I. 서론
II. MME 구동 원리
III. 편광상태의 발생
IV. 입사 뮬러행렬의 설계
V. 편광상태의 측정
VI. 광원과 광량측정 장치의 편광의존성 및 동등한 방위각에서의 측정값 평균
VII. 요약
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