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저자정보
인선자 (엘립소테크놀러지) 이민호 (엘립소테크놀러지) 조성용 (엘립소테크놀러지) 홍준선 (엘립소테크놀러지) 백인호 (엘립소테크놀러지) 권용현 (엘립소테크놀러지) 윤희규 (엘립소테크놀러지) 김상열 (엘립소테크놀러지)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제33권 제5호
발행연도
2022.10
수록면
201 - 209 (9page)

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기존 마이크로스폿 분광타원계의 집속광학계를 개선하여 원자힘 현미경(atomic force microscope, AFM) 헤드를 장착할 수 있도록 한 AFM 융합형 마이크로스폿 분광타원계를 개발하였다. 빔의 워블에 의한 영향을 최소화하기 위해 편광자-시료-보정기-검광자 배치에서 회전보정기 구동방식을 채택하고 이상적인 4분파장 위상지연 특성으로부터 벗어나는 비색성 위상지연자를 사용할 수 있도록 측정이론을 제시하였다. 개발된 마이크로스폿 분광타원계는 AFM 헤드를 장착한 상태에서도 20 μm 이하의 스폿 사이즈를 가지며 190–850 nm의 파장대역에 걸쳐 구동하고 δΔ ≤ 0.05°와 δΨ ≤ 0.02°의 측정정밀도를 가지는 것을 확인하였다. 연속회전하는 스테핑 모터의 속도와 분광계를 정밀하게 동기화시켜 ≤3 s/sp의 빠른 측정속도를 구현하였다. AFM과 융합된 마이크로스폿 분광타원계는 초미세 패턴시료의 구조 및 광학물성 분석에 유용하게 사용될 수 있을 것으로 기대한다.
#Atomic force microscope #Microspot spectroscopic ellipsometer #원자힘 현미경 #마이크로스폿 분광타원계

목차

I. 서론
II. 광대역 비색성 위상지연자 및 RCE 구동 이론
III. 편광 발생장치 및 편광 측정장치의 설계 및 제작
IV. 마이크로스폿 광학계 및 스폿 사이즈 측정
V. 산화막이 있는 단결정 규소의 측정 및 분석
VI. 요약 및 향후 개선 방향
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