반도체 식각 장비 개발의 경쟁력

김남헌

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

3차원 반도체 식각 시뮬레이션에서 분석적 방법을 통한 플럭스 계산

오창만 ,  권오봉

한국정보과학회 학술발표논문집

2015 .06

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

반도체/디스플레이 장비용 코팅부품 평가기술

소종호 ,  송제범 ,  이승수 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

A New Paradigm for Future Semiconductor Equipment

Sukwon Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

반도체 장비의 시스템 신뢰성 체계 개발 및 적용 연구

안영기 ,  정재성 ,  사윤기

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .02

이중 커널 밀도 추정 기반의 반도체 식각 종점 탐지

최준규 ,  심영준 ,  임성빈

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .06

모바일 플랫폼을 이용한 가공장비 기술 및 반도체 장비 유지보수 응용

노승국

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

반도체장비용 핵심부품의 절삭력 최적화를 통한 가공 사이클타임 단축

최현진 ,  김진록 ,  이석희

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

모바일 가공 플랫폼용 핵심 기술 개발

노승국

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .04

모바일 가공 플랫폼용 핵심 기술 개발

노승국

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

반도체 장비 시장_거세지는 美 반도체 규제 바람, 반도체 산업 지형도 바뀌나?

서재창

전자기술

2023 .03

반도체 장비 시장_투자 수요 맞물린 반도체 장비, 기업들의 숨은 미래 전략은?

서재창

전자기술

2022 .03

태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술

김수민 ,  오현주

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2023 .11

모바일 플랫폼 기반 가공시스템 핵심 기술 개발

노승국

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

레이저 식각을 활용한 자동차 내장부품 표면 처리 연구

이평찬 ,  김보람 ,  정선경 외 3명

한국자동차공학회 춘계학술대회

2018 .06

비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작

강동균 ,  편도원 ,  이해석 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2022 .04