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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제9권 제2호
발행연도
2008.4
수록면
327 - 332 (6page)

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본 논문에서는 반도체 소자와 디스플레이 패널의 제조공정에 사용되는 플라즈마 식각장비의 RF 정합특성을 개선하기 위한 모듈을 제안하였다. 구동부의 기구 중 베벨기어를 웹기어로 새롭게 설계 제작하고 제어부도 원칩 마이크로 프로세서를 이용하여 재구성하였다. 개발된 모듈은 기존의 정합장치보다 다양한 공정변수에 대한 능동적인 대처가 가능하고, 모터의 흐름현상 등을 개선함으로서 RF 정합특성이 개선되어, 플라즈마 식각공정의 생산성을 향상 시킬 수 있음을 보였다.
#plasma #semiconductor #RF Matcher

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참고문헌 (6)

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1. [학술대회논문] - Y.T.Sul / 2001 / Enhanced HE RF match with digital control / ET Conference : 245 ~ 249 google schola 2. [학술대회논문] - 설용태 / 2003 / 플라즈마 공정 챔버의 임피던스 측정을 위한 Adaptor 개발 / 한국 산학기술학회 춘계학술발표 논문집 : 247 ~ 249 google schola 3. [학술대회논문] - 박성진 / 2003 / RF Matcher의 성능개선 연구 / 한국 반도체장비학회 춘계학술대회 발표논문집 : 71 ~ 73 dbpia 4. [단행본] - Chris Bowick / 1997 / RF Circuit Design / Newn-es : 66 ~ 97 google schola 5. [단행본] - 강성용 / 2005 / 2005 부품.소재 로드맵(반도체.디스플레이장비부품) / 한국산업기술재단 : 4 ~ 14 google schola

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