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불소화 고분자 소재 기반 극자외선 레지스트 개발
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .04
산의 분포 및 농도가 EUV 리소그래피 공정의 패턴에 미치는 영향: 멀티스케일 전산 모사 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .08
고불소계 용제에 분산된 고불소화 고분자-무기 복합재료 분산액의 합성 및 특성 평가
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2018 .04
EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Mask Materials and Designs for Extreme Ultra Violet Lithography
Electronic Materials Letters
2018 .01
High-Resolution VIA Pattern using Combination of DSA and EUV Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
멀티스케일 전산모사기법을 이용한 EUV 리소그래피 공정의 포토레지스트 형상 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High Tg under EUV Radiation
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .04
Interpretation of Line Edge Roughness in Extreme-Ultraviolet (EUV) Lithography using Molecular Simulations
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
Reduction of LER in EUV Lithography Assisted by Block Copolymer Self-Assembly
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .10
딥러닝 기반 리소그래피 패턴 윤곽선 자동 추출 기법
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
EUVL 마스크 검사 장비용 초고진공 대응 5 자유도 초정밀 정렬 및 스캔 스테이지 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
PAL-EUV 가속기 터널 공조 환경 정밀제어
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2023 .12
상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2018 .05
중성빔 식각기술을 통한 EUV Resist의 손상 감소에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
주석산화물 촉매가 부착된 탄소나노튜브 투과전극을 이용한 이산화탄소 전환
대한환경공학회 학술발표논문집
2018 .11
Tin oxo cluster-based Hybrid Organic-Inorganic Photoresist for EUV Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .04
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