반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성 조사를 위한 컴팩트 열모델

원문충 ,  김경준

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발

유준수 ,  박양병

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

Wafer Pattern Recognition Using a 3D Image Processing Method in Semiconductor Manufacturing Process

송승환 ,  백준걸

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

An optimization model based on flexible lead times for semiconductor wafer fabrication

Sungwon Hong ,  Younsoo Lee ,  Kungsik Lee

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

정상 데이터 복원을 통한 영상 기반 반도체 웨이퍼 결함 검출 기법

박태경 ,  한승주 ,  홍제형

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

Sensor Calibration Algorithm for Precise Wafer Center Alignment of Semiconductor Coater/Developer Equipment Transfer Robots

H. Kim ,  S. J. Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07