지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
고속 대행정 고진공용 xyz 나노 스테이지 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
UHV용 알루미늄 부품의 초정밀 세정에 대한 실험적 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
Mask Materials and Designs for Extreme Ultra Violet Lithography
Electronic Materials Letters
2018 .01
Development and Performance Evaluation of a Fine Stage for Compensating 6-DOF Motion Errors of an Ultra-Precision Linear Stage
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2021 .02
초고압 전력설비 검사제도 개선 방안에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2024 .07
불소화 고분자 소재 기반 극자외선 레지스트 개발
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .04
3 자유도 정렬 스테이지의 자가교정과 보정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
개발도상국 UHV 송전망 격상에 따른 송전선로 표준 설계방안 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .10
높은 내식각성을 갖는 EUV lithography(EUVL)용 고불소화 주석산화물 레지스트의 합성 및 리소그래피 특성 평가
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .04
플렉셔 기반 6자유도 정밀 스테이지의 기구학과 동역학
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .04
5 자유도 오차 측정 시스템이 내장된 에어베어링 스테이지 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
압전 액추에이터를 이용한 초정밀 스테이지 설계에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .10
정밀 스테이지 제어 게인 최적화 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
가공성능 향상을 위한 고강성 정밀 스테이지
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
20대의 마스크 인식유형
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2022 .07
Compliance Analysis and Design Optimization of a 2-DOF Precision Positioning Stage based on Serial Mechanism for Enhanced Resonance Frequency Isotropy
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2020 .06
EUV 마스크 검사 장비의 회전 오정렬 보상을 위한 θz 스테이지 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
나노모터를 이용한 초정밀 스테이지 설계
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
Lost Motion Analysis for Nonlinearity Identification of a 6-DOF Ultra-Precision Positioning Stage
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2015 .03
정밀가공에 사용되는 2축 스테이지의 모드형상 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
0