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Ji-Eun Hong (Korea Institute of Energy Research) Yonghwan Lee (Gumi Electronics and Information Technology Research Institute (GERI)) Sung-In Mo (Korea Institute of Energy Research) Hye-Seong Jeong (Korea Institute of Energy Research) Jeong-Ho An (Korea Institute of Energy Research) Hee-Eun Song (Korea Institute of Energy Research) Jihun Oh (Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST)) Junhyeok Bang (Chungbuk National University) Joon-Ho Oh (Korea Institute of Energy Research) Ka-Hyun Kim (Chungbuk National University)
저널정보
한국신재생에너지학회 AFORE AFORE 2021 [초록집]
발행연도
2021.10
수록면
121 - 121 (1page)

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In this work, we present a fully bottom-up method for fabricating ultrathin silicon wafers using a self-releasing seed layer. While most of research efforts have focused on plasma-assisted epitaxial silicon (plasma-epi Si) have aimed to suppress the defective interface and improve the material quality for electronic applications, we took a completely different approach to the utilization of plasma-epi Si. We show, for the first time, that a self-organized nanogap can be formed from the defective interfac ... 전체 초록 보기
#Bottom-up method #Silicon wafers #Plasma-assisted epitaxial silicon

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