Epitaxial Growth of Crystalline Silicon Wafer Using a Self-Releasing Seed Layer

Ji-Eun Hong ,  Yonghwan Lee ,  Sung-In Mo 외 7명

AFORE

2021 .10

Parametric study of the process parameters on the Si epitaxial growth

Imama Zaidi ,  Dong Guk Ko ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

단결정 Si-wafer의 기계가공 시 하중증가속도에 따른 가공 mechanism변화 분석

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

Mo/Hf_0.3Zr_0.7O₂/n⁺-Si의 Ti 전극 기반 Direct Scavenging Effect를 활용한 SiO_x 계면층 생성 억제 및 반강유전성 개선에 대한 연구

김세현 ,  유근택 ,  이동현 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

Integrated Process Sequence of Epitaxy Silicon Wafer Production Using Plasma-Enhanced CVD

Ji-Eun Hong ,  Yonghwan Lee ,  Sung-In Mo 외 4명

AFORE

2023 .11

단결정 Si-wafer 의 기계가공 시 절삭속도에 따른 가공 mechanism 변화 분석

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

부분공정 태양전지를 이용한 결정질 태양전지의 강도 특성에 관한 연구

최수열 ,  임종록

한국태양에너지학회 논문집

2020 .10

사각 웨이퍼 범프 적용 Si3N4 가공

박진호 ,  배만수 ,  김경한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

Thin Single Crystal Si Wafers Formed by Spalling

오지훈

한국에너지학회 학술발표회

2016 .04

고상 성장법을 이용한 실리콘 태양전지 에미터 형성 연구

김현호 ,  지광선 ,  배수현 외 7명

Current Photovoltaic Research

2015 .09

Oxidation resistance and high-temperature mechanical properties of porous Si2N2O/Si3N4 composite ceramics

Liting Wei ,  Yangfang Wu

Journal of Ceramic Processing Research

2019 .01

혼합 소스 HVPE 방법에 의한 4H-SiC 기판 위의 육각형 Si 에피층 성장

김경화 ,  박선우 ,  문수현 외 8명

한국결정성장학회지

2023 .04

Improvement in Friction/Wear, Scratch and Corrosion Properties of thin Si wafer by Mechanical Surface Treatment

Auezhan Amanov

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

Characterization of Atomic‑Layer‑Deposited (ALD) Al2O3‑Passivated Sub‑50‑μm‑thick Kerf‑less Si Wafers by Controlled Spalling

이용환 ,  Hamcho ,  om Cha 외 4명

Electronic Materials Letters

2018 .01

N타입 결정질 실리콘 웨이퍼 두께 및 알루미늄 페이스트 도포량 변화에 따른 Bowing 및 Al doped p⁺ layer 형성 분석

박태준 ,  변종민 ,  김영도

한국재료학회지

2015 .01

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Influence of Silicon Content and Heat Treatment for Thermal Properties in Al-Si Binary System

Y. Kim ,  Y. Kim ,  S. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

Controlled infiltration profile of SiC coating layer on graphite by Si vapor deposition reaction

Kuk-Jin Hwang ,  Si-Young Bae ,  Kyoung-Ho Kim 외 5명

Journal of Ceramic Processing Research

2019 .01

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

200 ㎛ 두께의 다결정 실리콘 웨이퍼의 반사율 및 내마모성 향상을 위한 연구

아마노프 아웨즈한 ,  권현구 ,  박승일 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .10