단결정 Si-wafer의 기계가공 시 하중증가속도에 따른 가공 mechanism변화 분석

최대희 ,  전은채 ,  제태진 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

Thin Single Crystal Si Wafers Formed by Spalling

오지훈

한국에너지학회 학술발표회

2016 .04

Improvement in Friction/Wear, Scratch and Corrosion Properties of thin Si wafer by Mechanical Surface Treatment

Auezhan Amanov

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구

지용경 ,  사이풀 ,  최성순 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

The Growth of Epitaxy Silicon Wafer Using a Novel Bottom-Up Separation Layer

Ji-Eun Hong ,  Yonghwan Lee ,  Sung-In Mo 외 5명

AFORE

2022 .09

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

부분공정 태양전지를 이용한 결정질 태양전지의 강도 특성에 관한 연구

최수열 ,  임종록

한국태양에너지학회 논문집

2020 .10

사각 웨이퍼 범프 적용 Si3N4 가공

박진호 ,  배만수 ,  김경한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

압전단결정의 비절삭에너지를 이용한 가공특성 변화구간 분석 연구

심종근 ,  정지영 ,  강청모 외 5명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .06

박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향

이상민 ,  김재한 ,  김영석 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04

알루미늄 단결정 절삭의 유한요소 해석

송신형 ,  최우천

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

Mo/Hf_0.3Zr_0.7O₂/n⁺-Si의 Ti 전극 기반 Direct Scavenging Effect를 활용한 SiO_x 계면층 생성 억제 및 반강유전성 개선에 대한 연구

김세현 ,  유근택 ,  이동현 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

다양한 실리콘 웨이퍼 제조를 위한 와이어 전기 방전가공

문희찬 ,  최선호 ,  박성희 외 3명

전기전자재료학회논문지

2017 .05