반도체 공정용 N2O (Nitrous Oxide)의 공급 압력과 잔여량의 상관관계에 따른 이상적인 운영 조건에 대한 연구

정현곤; 정대웅; 공준진

추천

검색

질문

자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정현곤 (삼성전자공과대학교) 정대웅 (삼성전자공과대학교) 공준진 (삼성전자공과대학교)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2021년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2021.11

수록면: 132 - 135 (4page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Specialty Gas used in semiconductor businesses is essential for continuous supply to process facilities for semiconductor manufacturing. For this, It used a Cabinet that automatically controls the supply of Specialty Gas based on the supply pressure and Net-Weight inside the Cylinder. In the case of liquefied gases such as N2O and NH3 the pressure inside the Cylinder is maintained as a vapor pressure, So it is a managed based on the Net-Weight. However, there is a difficulty in managing the Load-Cell for such as calibration and breakdown. Therefore, This paper the possibility of managing the supply pressure of N2O was evaluated using the Ideal Gas Equation, Evaluation result, When the Net-Weight was 10 ㎏, It was confirmed that the real supply pressure 10.2 atm and although there is a 6 % error compared to the Theoretical data 10.8 atm, It is confirmed that it can be applied as a pressure based for supply system conversion.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

정현곤

소속기관 삼성전자공과대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 1 이용수 99

Dae-Ung Jeong

소속기관 광운대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 4 이용수 200

공준진

소속기관 삼성전자공과대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학 TOP 10% 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 21 이용수 1,406

이 논문과 함께 이용한 논문

SK머티리얼즈의 소재 산업(반도체, Display, Battery) 분석기술 개발 방향

강선영 한국분석과학회 학술대회 2021 .11

반도체 기업의 스마트팩토리 기술적 요인이 운영성과에 미치는 영향에 관한 연구 : CEO리더십과 IT전문인력의 매개효과 중심으로

이정련 , 이창원 대한경영학회지 2021 .11

공적개발원조(ODA)와 국익 연계 : 상생원조를 위한 공여국의 노력 현황 고찰

김수진 개발과 이슈 2021 .09

열처리 온도에 따른 용액 공정 기반 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 특성 분석

임화림 , 김용상 대한전기학회 학술대회 논문집 2021 .10

반도체 제조 공정에서 graph attention networks를 이용한 웨이퍼 edge point 가상 계측 모델

양근우 , 김창욱 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2021 .11

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)