웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링

홍철희

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

챔버 내 웨이퍼 지연을 고려한 다중 슬롯 클러스터 장비의 구조 설계 및 스케줄링

지영준 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2019 .04

양팔 클러스터 장비의 K-주기 운용 시 웨이퍼 지연 분석 및 제어

노동현 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2016 .04

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

강화학습을 이용한 웨이퍼의 품질과 다품종 생산을 고려하는 반도체 제조 장비 스케줄링

김민찬

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어

서정헌 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2021 .06

웨이퍼 맵의 정량적 분류 체계 개발

최승현 ,  김은수 ,  이동희 외 1명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

1주기 챔버 클리닝이 포함된 클러스터 장비에서 웨이퍼 지연 제어를 위한 Kanban 피드백 제어 연구

김재현 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2020 .11

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발

김주영 ,  김광재

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2022 .11

다중센서 기반 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시 시스템 개발

황경환 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

1주기 챔버 클리닝이 포함된 양팔 클러스터 장비에서의 피드백 제어기 설계 및 웨이퍼 지연 제어 효과 분석

김재현 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

자가 지도학습을 이용하여 데이터 불균형을 고려한 웨이퍼 빈 맵 불량 패턴 클러스터링 방법 연구

최이수 ,  김병훈

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구

백선재 ,  이민혁

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .02

클리닝이 포함된 반도체 제조용 양팔 클러스터 장비에서의 웨이퍼 지연 감소를 위한 Kanban 피드백 제어 Case Study

김재현 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

Modeling Transient period of cluster tool with the minimum number of wafers

김우진 ,  이태억

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2015 .04

실리콘 이종 접합 태양전지 적용을 위한 얇은 결정질 웨이퍼의 표면 개질 효과

김성헌 ,  주민규 ,  이준신

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .07

CMP 온도 모니터링 시스템을 이용한 웨이퍼 면내 균일도 향상에 관한 연구

조호성 ,  김형재 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

웨이퍼 맵 패턴 분석을 위한 삼중항 손실 기반 비지도 표현 학습

강현구 ,  강석호

한국정보과학회 학술발표논문집

2021 .06