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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제6호
발행연도
2016.1
수록면
370 - 375 (6page)

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본 논문에서는 Ni/Cu/Ag 도금으로 전극을 형성한 결정질 실리콘 태양전지의 전기적 특성에 대해서 연구하였다. 레이저 공정은 실리콘 질화막을 제거하기 위해서 뿐만 아니라 선택적 에미터를 형성하기 위해서도 사용되어진다. 인산막은 레이저에 의한 손상을 막기 위해서 스핀 코팅되었으며 레이저 공정 동안 선택적 에미터를 형성하기 위해 사용되었다. 결과적으로 접촉 저항은 전극 영역에서 낮은 면저항에 의해 감소하였다. 낮은 면저항은 레이저 공정에서 전류를 높임으로써 얻어졌으나 태양전지 변환효율과 개방전압은 실리콘 표면 손상에 의해서 감소하였다. KOH 처리는 Ni/Cu/Ag 도금 공정에 앞서 표면 손상을 제거하기 위해서 사용되었다. Ni 도금 4분, Cu 도금 16분을 수행한 후 전극의 산화를 막기 위해 30초간 Ag 도금을 하였다. KOH 처리를 수행한 태양전지의 경우 KOH 처리를 하지 않은 태양전지에 비하여 0.2% 효율이 향상되는 것을 확인할 수 있었다.
#Crystalline silicon solar cell #Laser doping #Laser damage #Plating

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홍경국 / 2009 / Role of PbO-Based Glass Frit in Ag Thick-Film Contact Formation for Crystalline Si Solar Cells / Metals and Materials International 15(2):307~312 dbpia D. Pysch / 2009 / Prog. Photovolt: Res. Appl 17:101 Crossref A. Mette / 2007 / Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau / Freiburg im Breisgau :105 google schola A. Knorz / 2009 / Prog. Photovolt : Res. Appl. 17:127~136 Crossref S. Bowden / 2002 / Conference Record of the Twenty-Ninth IEEE :371~374 google schola

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