RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

2단계 증착법을 이용하여 증착한 ZnO 박막의 열처리 효과 분석

이진복 ,  이명호 ,  이혜정 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

RF 마그네트론 스퍼터로 제조한 투명전극용 AZO 박막의 특성

허재성 ,  손창식 ,  김동환 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

RF 마그네트론 스퍼터법으로 성장한 p-i-n LED 구조의 특성평가

공보현 ,  김영이 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)

김희제 ,  문덕쇠 ,  진윤식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

ALE법으로 증착된 ZnO 박막의 PL특성

임종민 ,  홍현석 ,  신경철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

대향타겟스퍼터법으로 증착된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성

양진석 ,  성하윤 ,  금민종 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

스퍼트링 방법으로 증착된 투명전극용 AZO의 구조적 특성

정영진 ,  박재형 ,  이승진 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

알루미늄 화학증착에서 선택적 증착을 위한 기저충의 활용

김동찬 ,  김병윤 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₂O-B₂O₃-SiO₂계 비정질 박막고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도특성에 관한 연구

노남석 ,  권혁상

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11

마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박막의 투명전극 적용성 연구

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED 제작 및 특성평가

황승호 ,  오명원 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

N-doped ZnO 박막의 미세 구조 특성

이은주 ,  Rui ,  ui Zhang 외 2명

한국정보통신학회논문지

2009 .11

표면 텍스쳐된 ZnO:Al 투명전도막 증착 및 특성

柳鎭洙 ,  李偵喆 ,  金錫基 외 3명

전기학회논문지 C

2003 .09

원자층 증착법으로 성장된 ZnO 박막의 질소 도핑에 대한 연구

김도영

전기전자재료학회논문지

2014 .01

원자층증착법으로 성장된 ZnO:N 투명 TFT 활성층의 UV 처리를 통한 전기적 특성 변화

임성준 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01