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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
발행연도
2010.6
수록면
94 - 94 (1page)

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RF 마크네트론 스퍼트를 이용하여 유리 기판 위에 태양전지 투명전극용 Al 도핑된 ZnO(AZO)를 증착하였다. Si 박막 태양전지용 투명전극으로 사용될 AZO의 광학 및 구조적 특성을 향상시키기 위해서 증착온도 및 Ar 가스의 유량비를 조절하여 증착하였다. 상온에서 500도 범위 내에서 증착하였고, 10에서 40 sccm ... 전체 초록 보기
#스퍼트링 #산화아연 #투명전극 #태양전지 #Sputtering #ZnO #Transparent electrode #Solar cells

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