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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
오데레사 (청주대학교 반도체공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제18권 제1호
발행연도
2019.1
수록면
70 - 73 (4page)

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It was confirmed that current flowing in thin films below nm increases conductivity in diffusion currents by holes rather than electric currents by electrons. ZTO thin film, which was heat treated at $150^{\circ}C$, increased electron concentration, and thus increased capacitances. However, it was found that low current movement would be difficult as the degree of movement was reduced. Therefore, it was found that diffusion currents were more advantageous than drift currents by electrons in order to allow low current to be produced in very thin films of nm class.

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