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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이상헌 (부산대학교 무기재료공학과) 박건태 (부산대학교 무기재료공학과) 손영국 (부산대학교 무기재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제12권 제4호
발행연도
2002.1
수록면
240 - 247 (8page)

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Tin oxide thin films doped with silicon as anodes for lithium secondary battery were fabricated by R.F. magnetron sputtering technique. The electrochemical results showed that the irreversible capacity was reduced during the first discharge/charge cycle, because the audition of silicon decreased the oxidic state of Tin. Capacity was increased with the increase of substrate temperature, however decreased with the increase of RTA temperatures. The reversible capacity of thin films fabricated under the substrate temperature of $300^{\circ}C$ and the Ar:$O_2$ratio of 7:3 was 700mA/g.
#$SnO_2$ #R #F #magnetron sputtering #Lithium secondary battery

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