다단계 습식 식각을 통한 수소처리된 Al-doped ZnO 박막의 특성

탁성주; 강민구; 박성은; 김용현; 김원목; 김동환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 탁성주 (고려대학교 신소재공학과) 강민구 (고려대학교 신소재공학과) 박성은 (고려대학교 신소재공학과) 김용현 (고려대학교 신소재공학과) 김원목 (한국과학기술연구원 재료연구부 박막재료연구센터) 김동환 (고려대학교 신소재공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제19권 제5호

발행연도: 2009.1

수록면: 259 - 264 (6page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (5)

2009

다단계 습식 식각을 통한 수소처리된 Al-doped ZnO 박막의 특성

탁성주 , 강민구 , 박성은 외 3명 한국재료학회지 2009.01 학술저널

2007

수소처리에 따른 이종접합 태양전지용 Al-doped ZnO 박막의 특성

탁성주 , 강민구 , 김원목 외 3명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2007.11 학술대회자료

수소화된 ZnO:Al 박막 특성연구

탁성주 , 이승훈 , 김원목 외 1명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2007.06 학술대회자료

기판 온도에 따른 수소화된 Al-doped ZnO 박막의 특성 변화

탁성주 , 강민구 , 이승훈 외 3명 한국재료학회지 2007.01 학술저널

수소처리에 따른 ${\mu}c-Si$ 박막 태양전지용 Al-doped ZnO 박막의 특성

탁성주 , 강민구 , 이승훈 외 4명 한국재료학회 학술발표대회 2007.01 학술대회자료

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In this study we investigated the effect of the multi-step texturing process on the electrical and optical properties of hydrogenated Al-doped zinc oxide (HAZO) thin films deposited by rf magnetron sputtering. AZO films on glass were prepared by changing the $H_2/(Ar+H_2)$ ratio at a low temperature of $150^{\circ}C$. The prepared HAZO films showed lower resistivity and higher carrier concentration and mobility than those of non-hydrogenated AZO films. After deposition, the surface of the HAZO films was multi-step textured in diluted HCl (0.5%) for the investigation of the change in the optical properties and the surface morphology due to etching. As a result, the HAZO film fabricated under the type III condition showed excellent optical properties with a haze value of 52.3%.

#ZnO : Al #hydrogenated #rf magnetron sputter #TCO #surface textured

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